中文
英文
產品中心
欲了解更多產品信息
歡迎聯系 info@ycmec.com （長光圓辰郵箱）
MEMS壓力傳感器
MEMS壓力傳感器是一種基于微納加工技術制造的微型化傳感器，通過將機械結構與電子元件集成在硅基芯片上，實現對壓力信號的精確感知與電信號轉換。
產品詳情
MEMS (微機電系統)是集微型機構、傳感器、執行器及信號處理和控制電路于一體的微型器件或系統。
|
原理: ? 硅壓阻式和硅電容式 應用: ? 汽車電子、消費電子、工業電子、工業自動化、醫療健康 優勢：體積小、功耗低、長期穩定性、可批量生產，并具備高靈敏度和可靠性 |
? ? ? 基本的MEMS工藝 |
MEMS壓力傳感器工藝能力
|
產品性能指標參數 |
|
|
產品壓力范圍（量程） |
1Mpa、2Mpa、7Mpa |
|
精度要求 |
|
|
重復性 |
<0.2%FS? |
|
非線性 |
<0.2%FS? |
|
遲滯 |
<0.1%FS |