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產(chǎn)品中心

中高端BSI CMOS芯片研發(fā)生產(chǎn) | TMBS民用功率器件制造 | 半導(dǎo)體定制化服務(wù)
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歡迎聯(lián)系 info@ycmec.com (長(zhǎng)光圓辰郵箱)

BSI代工

長(zhǎng)光圓辰具備8寸和12寸BSI全流程的工藝能力,包括鍵合前處理、鍵合減薄、ARC沉積、焊盤打開等過程;覆蓋8寸Fusion Bond,12寸Fusion Bond,12寸Hybrid Bond
產(chǎn)品詳情

8寸BSI代工業(yè)務(wù):Fusion&Hybrid Bond

鍵合精度:3σ≤800nm(depends on wafer)

12寸BSI代工業(yè)務(wù):Fusion&Hybrid Bond

鍵合精度:3σ≤500nm(depends on wafer)

BSI代工產(chǎn)品工藝

8寸Fusion?Bond

12Fusion?Bond

12HYB?Bond

晶圓磨邊

晶圓磨邊

表面處理

晶圓熔融鍵合

晶圓熔融鍵合

Cu電鍍及CMP

背面機(jī)械減薄

背面機(jī)械減薄

混合鍵合

濕法腐蝕

濕法腐蝕

機(jī)械減薄及濕法腐蝕

化學(xué)機(jī)械拋光

化學(xué)機(jī)械拋光

化學(xué)機(jī)械拋光

ARC沉積

ARC沉積

ARC沉積

焊盤打開

焊盤打開

焊盤打開


8寸產(chǎn)品晶圓:長(zhǎng)光圓辰已為國內(nèi)外眾多客戶提供8寸BSI代工服務(wù),涵蓋多種Si厚度、ARC結(jié)構(gòu)、die尺寸,具備拼接工藝能力。

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12寸晶圓產(chǎn)品: 除8寸外,圓辰也具備12寸Fusion Bond和12寸Hybrid Bond產(chǎn)品BSI工藝加工能力以及不同尺寸產(chǎn)品的鍵合能力。

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