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BSI代工
長(zhǎng)光圓辰具備8寸和12寸BSI全流程的工藝能力,包括鍵合前處理、鍵合減薄、ARC沉積、焊盤打開等過程;覆蓋8寸Fusion Bond,12寸Fusion Bond,12寸Hybrid Bond
產(chǎn)品詳情
8寸BSI代工業(yè)務(wù):Fusion&Hybrid Bond
鍵合精度:3σ≤800nm(depends on wafer)
12寸BSI代工業(yè)務(wù):Fusion&Hybrid Bond
鍵合精度:3σ≤500nm(depends on wafer)
BSI代工產(chǎn)品工藝
8寸Fusion?Bond |
12寸Fusion?Bond |
12寸HYB?Bond |
晶圓磨邊 |
晶圓磨邊 |
表面處理 |
晶圓熔融鍵合 |
晶圓熔融鍵合 |
Cu電鍍及CMP |
背面機(jī)械減薄 |
背面機(jī)械減薄 |
混合鍵合 |
濕法腐蝕 |
濕法腐蝕 |
機(jī)械減薄及濕法腐蝕 |
化學(xué)機(jī)械拋光 |
化學(xué)機(jī)械拋光 |
化學(xué)機(jī)械拋光 |
ARC沉積 |
ARC沉積 |
ARC沉積 |
焊盤打開 |
焊盤打開 |
焊盤打開 |
8寸產(chǎn)品晶圓:長(zhǎng)光圓辰已為國內(nèi)外眾多客戶提供8寸BSI代工服務(wù),涵蓋多種Si厚度、ARC結(jié)構(gòu)、die尺寸,具備拼接工藝能力。
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12寸晶圓產(chǎn)品: 除8寸外,圓辰也具備12寸Fusion Bond和12寸Hybrid Bond產(chǎn)品BSI工藝加工能力以及不同尺寸產(chǎn)品的鍵合能力。? ?