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technology

核心技術

致力于為200mm和300mm晶圓制造提供BSI、SOI及特殊的芯片級加工服務
核心技術

Hybrid Bond & Fusion Bond

長光圓辰具備8寸BSI產品加工完整生產線,可以覆蓋鍵合前處理、鍵合、退火、減薄、濕法腐蝕、化學機械研磨、原子層沉積、ARC層沉積、Pad Open全部工藝過程,大大提高了圖像傳感器的量子效率。
項目 工藝能力
鍵合力 ≥1.8J/m2
空洞 ≤0.5%
對準精度 ≤800nm
減薄TTV ≤3um
Final TTV ≤0.5um
ARC均勻性 ≤3%
Pad Open精度 ≤2um